字数：11.7万字 出版社：机械工业出版社
本书着重介绍了半导体制造设备，并从实践的角度出发，选取了具有代表性的设备进行讲解。为了让读者加深对各种设备用途的理解，采用了一边阐述半导体制造工艺流程、一边说明各制造工艺中所使用的制造设备及其结构和原理的讲解方式，力求使读者能够系统性地了解整个半导体制造的体系。 本书可作为从事集成电路工艺与设备方面工作的工程技术人员，以及相关研究人员的参考用书，也可作为高等院校微电子、集成电路相关专业的规划教材和教辅用书。
书圈 | 共26人，17条
看过的人还看
-
6
373 -
624
193
同类热销榜
-
- 1
-
- 2
-
智能家居安装与调试[精品]
1
- 2
-
- 3
-
- 4
-
- 5
-
- 6
-
登高作业上岗证理论题库[精品]
1
- 6
-
- 7
-
焊接常见缺陷及处理[精品]
2
- 7
-
- 8
-
追求精确[精品]
1
- 8
-
![追求精确[精品]](https://bookbk.img.zhangyue01.com/idc_1/m_1,w_105,h_140,q_100/e4cfa6b3/group61/M00/99/52/CmQUOGRu-kqEJ_TEAAAAAFzj_fs664880322.jpg?v=YnQ7pXnb&t=CmQUOGRu-ko.)
1
-
- 9
-
汽车故障诊断与维修技术[精品]
0
- 9
-
- 10
![太阳能光伏发电系统及其应用（第二版）[精品]](https://bookbk.img.zhangyue01.com/idc_1/m_1,w_105,h_140,q_100/fd70af5e/group6/M00/1B/83/CmRablsrcWWEdlp6AAAAAKeEkPk578831150.jpg?v=sv8SapZ6&t=CmQUNmEQ75s.)
![智能家居安装与调试[精品]](https://bookbk.img.zhangyue01.com/idc_1/m_1,w_105,h_140,q_100/43273df7/group61/M00/5C/66/CmQUOWQTo22ESonKAAAAAG5KL28615393455.jpg?v=4_ZgxjbP&t=CmQUOWQTo20.)
![西门子S7-200 SMART PLC编程与应用案例精选[精品]](https://bookbk.img.zhangyue01.com/idc_1/m_1,w_105,h_140,q_100/40bc46ea/group61/M00/BD/9E/CmQUOWIKK-uENopVAAAAAAsL-sk288491351.jpg?v=1gZAaoko&t=CmQUOWIKK-s.)
![操盘手实战法则：资深操盘手讲述万法之本，揭示顶底奥秘(含DVD9光盘1张)[精品]](https://bookbk.img.zhangyue01.com/idc_1/m_1,w_105,h_140,q_100/b61a68f5/group61/M00/8D/E1/CmQUOF-3lPmEXHj1AAAAAPU19pw520302227.jpg?v=usBcMbAX&t=CmQUOF-3lPk.)
![第四次工业革命：行动路线图：打造创新型社会[精品]](https://bookbk.img.zhangyue01.com/idc_1/m_1,w_105,h_140,q_100/9aeb3e2f/group6/M00/35/D0/CmRae1uvINOEOcV9AAAAAExghgU410713561.jpg?v=NkZnelRR&t=CmRae1uvINM.)
![登高作业上岗证理论题库[精品]](https://bookbk.img.zhangyue01.com/idc_1/m_1,w_105,h_140,q_100/f7a4a7de/group6/M00/DB/EA/CmQUNlj0MnKEOaSxAAAAAMjbhhU317113970.jpg?v=Q5wnPW8j)
![焊接常见缺陷及处理[精品]](https://bookbk.img.zhangyue01.com/idc_1/m_1,w_105,h_140,q_100/dc5d1d6c/group61/M00/55/27/CmQUOVxRC-iEJUbfAAAAAABaBUE836464655.jpg?v=DszD3Nbu&t=CmQUOVxRC-g.)
![汽车故障诊断与维修技术[精品]](https://bookbk.img.zhangyue01.com/idc_1/m_1,w_105,h_140,q_100/19665de5/group61/M00/AE/13/CmQUOGSK5hqEPab0AAAAADQbobg437159585.jpg?v=t6XapgG9&t=CmQUOGSK5ho.)
![西门子S7-1200 PLC编程与应用 第2版[精品]](https://bookbk.img.zhangyue01.com/idc_1/m_1,w_105,h_140,q_100/4c55473d/group61/M00/3A/7E/CmQUOGF57MKEcxeXAAAAAEGjc90671111798.jpg?v=Qh3nQ5lZ&t=CmQUOGF57MI.)
京公网安备11010502030452